半导体制造设备行业解决方案简介

我们拥有强大的软件产品、数据库和咨询服务能力,支持半导体设备和集成电路(IC)制造业。我们可以使用非平衡等离子体建模工具帮助半导体制造商分析现有设备,改进流程,并开发新的设备概念。优化他们的制造工艺,识别/纠正工艺异常,并为他们的需求设计新的设备。

我们的快速反应器建模工具已被用于快速探索半导体制造中的大工艺参数空间,也用于开发和验证新的有限速率化学动力学机制过程等离子体、燃烧和其他气体化学动力学。

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